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我们翻新的等离子体刻蚀和PECVD设备
您的刻蚀和PECVD设备翻新专家
我们是业内领先的优质翻新等离子刻蚀（RIE、DRIE、ICP）和沉积（PECVD）设备供应商，产品均来自顶级制造商：Oxford Instruments 和 Plasma-Therm。
我们拥有经过原厂培训的技术人员，可提供完整的交钥匙解决方案，包括符合原始规格的全面翻新系统、在您工厂的安装和培训，以及完善的售后服务和备件支持。我们为所有系统提供行业领先的保修服务和 30 天退货政策。
购买翻新等离子刻蚀机和 PECVD 设备，您可以在享受卓越品质和性能的同时，节省高达 60% 的原厂设备价格。
刻蚀/PECVD设备翻新流程：
- 腔体拆卸进行翻新。
- 腔体进行全面湿法清洗。
- 腔体陶瓷部件进行专业清洗。
- O型圈和密封件全部更换为全新件。
- 所有质量流量控制器 (MFC) 进行专业维修和校准。
- 所有腐蚀性气体管路全部更换为全新件。
- 所有非腐蚀性气体管路进行吹扫。
- 真空泵进行专业维修。
- 涡轮分子泵进行专业维修。
- 冷却器用水进行测试，并根据需要进行维修。
- 所有线路/线束进行检查，必要时进行维修或更换。
- 所有液体和空气管路、管道和接头进行检查，必要时进行更换。
- 主要部件拆卸进行检查、维护、清洁和润滑。根据需要维修或更换部件。
- 检查所有电子和机械部件。
- 设备外壳根据需要进行清洁、抛光或更换。
- 翻新后进行系统泄漏测试和射频调谐检查。
在更换外壳和擦拭清洁之前，完成系统循环和重复性测试。
系统组件进行仔细包装、贴标，并进行专业装箱。
刻蚀/PECVD 设备型号：
Oxford 80
Oxford 100
Oxford 133
Oxford NGP
Oxford Cobra
Plasma-Therm 790
Plasma-Therm SLR
Plasma-Therm VLR
Plasma-Therm Versaline
其他（Trion、SPTS、March）
我们的优势：
无与伦比的精细化再制造工艺；所有组件和控制器均采用全新现代化部件，确保系统在未来多年内都能满足原始规格要求。
我们提供一站式解决方案，包括全面翻新的系统、专业的安装和培训，以及完善的售后服务和备件支持。
行业领先的 6 个月或 12 个月零件和人工保修。
我们拥有庞大的备件库存，可为我们的再制造系统提供支持。
我们拥有经过工厂培训的专业技术人员，可提供专业的安装、操作培训、系统升级以及现场服务支持，包括从设备故障排除到预防性维护和故障排除支持。
需要更详细的产品？欢迎留言。我们的工程师将很快和您联系。
