Plasmatherm SLR-720 RIE 系统

- 型号：SLR-720

- 单腔室，带载入锁

- 目前配置用于 4 英寸晶圆

- 可处理最大 8 英寸/200 毫米晶圆（需配备合适的工具，需额外付费）

- 涡轮分子泵

- AEI/RFPP RF5S 500W 射频发生器

- Leybold Trivac D65BCS 真空泵

- Leybold Trivac D25BCS 真空泵

- Neslab HX-75 循环冷却器

- 电源箱

- 工艺软件

- 计算机于 2011 年由原始设备制造商升级/运行 Win 98 系统

- 一套操作和维护手册

- 4 个质量流量控制器 (MFC)：

*SF6

*N2

*CHF3

*O2

- 腔室拆卸并进行全面湿法清洗。

- 所有腔室 O 形圈和密封件均更换为全新件。

- 静电吸盘 (ESC) 送修翻新（如果适用）。

- 所有质量流量控制器均经过专业维修和校准。

- 所有腐蚀性气体管路均更换为全新件。

- 所有非腐蚀性气体管路均已清洗。

- 真空泵经过专业维修。

- 涡轮分子泵经过专业维修。

- 冷却器已进行维护和全面测试。

- 所有接线/线束均已检查，必要时进行维修或更换。

- 所有液体和空气管路、管道和接头均已检查和更换。

- 主要部件已拆卸进行检查、维护、清洁和润滑。必要时进行维修或更换。

- 所有电子和机械部件均已检查。

- 设备外壳已清洁、抛光或根据需要更换。

- 设备已进行全面测试，以验证其符合原始设备制造商和客户的规范。

- 翻新后进行系统泄漏和射频校准检查，并向客户提供相关文档。

- 在更换外壳和擦拭之前，已完成系统循环和重复性测试。

- 已安装运输锁；所有系统组件均已仔细包装、贴标并进行专业装箱。状况：

保证状态极佳。

该系统将按照出厂规格交付。

可在进行全面检查和演示。

也提供按现状出售/按原样交付的定价方案！