Oxford Plasmalab 100 ICP 系统

- 型号：Plasmalab 100 ICP

- 感应耦合等离子体源 (ICP380)

- 最大晶圆尺寸：8 英寸/200 毫米直径（8 英寸晶圆台）

- X-20 PLC 控制器

- 全新 Windows 10 电脑

- 配备低温工作台选项（-150°C 至 +400°C）

- 机械晶圆夹持

- 背面氦气冷却

- 负载锁定单腔室 (ICP)

- Alcatel 磁悬浮涡轮分子泵（腔室）

- Alcatel 涡轮分子泵（负载锁定室）

- Alcatel ACT 控制器

- 计算机（参见下方注释）

- LCD 显示器、键盘和鼠标

- 负载锁定室粗抽泵

- 腔室粗抽泵

- 六通道气体箱

- 操作手册和文档

- 提供全面翻新并符合原始规格的产品。

- 腔室拆卸进行翻新。

- 腔室进行全面湿法清洗。

- 腔室 O 形圈和密封件全部更换为全新件。

- 静电卡盘 (ESC) 送修翻新（如果适用）。

- 所有质量流量控制器 (MFC) 均经过专业重建和校准。

- 所有腐蚀性气体管路均更换为全新件。

- 所有非腐蚀性气体管路均已清洗。

- 真空泵经过专业重建。

- 涡轮分子泵经过专业重建。

- 冷却器已维修并进行全面测试。

- 所有接线/线束均已检查，必要时进行维修或更换。

- 所有液体和空气管路、管道和接头均已检查，必要时进行更换。

- 主要部件已拆卸进行检查、维修、清洁和润滑。必要时对部件进行维修或更换。

- 对所有电子和机械部件进行检查。

- 机器外壳已清洁、抛光或根据需要进行更换。

- 设备已进行全面测试，以验证其符合规格。

- 翻新后系统泄漏和射频校准检查，并向客户提供相关文档。

- 在更换外壳和擦拭之前，已完成系统循环和重复性测试。 - 系统组件经过精心包装、贴标，并采用专业木箱运输。

状况： 保证状况极佳。

公司按照工厂规格进行全面翻新。

6 个月保修和完整规格保证。

30 天退货权。