Oxford Plasmalab 80 Plus RIE 系统

ID 号： 5109

- 型号：Plasmalab 80 Plus RIE

- 单腔室 RIE，非负载锁定式

- 适用于研发反应离子刻蚀应用

- 工艺：介质刻蚀和去胶

- 系统配置通用托盘（可放置各种尺寸的基板）

- 可处理最大 200mm 晶圆

- 系统 PC、键盘、鼠标

- 300W 射频发生器 13.56MHz

- 涡轮分子泵

- 旋片式粗抽泵，Fomblin 润滑油

- 冷水机 - 415Vac，3 相，32A

- 操作手册和文档

- 已全面翻新至极佳状态（详情见下文）

气体箱目前配置：Ar、CF4、O2、CHF3、SF6 和 He - 系统组件已精心包装、贴标并专业装箱。

OXFORD 翻新流程包括：

- 腔室拆卸进行翻新。

- 腔室进行全面湿法清洗。

- 腔室 O 形圈和密封件更换为全新件。

- 静电卡盘 (ESC) 送修翻新（如适用）

- 所有质量流量控制器 (MFC) 均已专业维修和校准。

- 所有腐蚀性气体管路更换为全新件。

- 所有非腐蚀性气体管路均已吹扫。

- 真空泵已专业维修。

- 涡轮分子泵已专业维修。

- 冷水机已维护并全面测试。

- 所有接线/线束均已检查，必要时进行维修或更换。

- 所有液体和空气管路、管道和接头均已检查，必要时进行更换。

- 主要部件已拆卸进行检查、维护、清洁和润滑。必要时进行维修或更换。

- 所有电子和机械部件均已检查。

- 机器外壳已清洁、抛光或根据需要进行更换。

- 翻新后系统进行泄漏和射频校准检查，并向客户提供相关文档。 - 在更换盖板和擦拭清洁之前，已完成系统循环和重复性测试。

- 系统组件已仔细包装、贴标并由专业人员装箱。

 按照工厂规格进行全面翻新。

6 个月保修和完整规格保证。

30 天退货权。