EVG EVG501 晶圆键合机
- 型号:EVG 501- 能够进行热压、熔融或阳极晶圆键合- 键合腔室,适用于最大150mm晶圆(需配备合适的工装)- 厚度:最大晶圆堆叠厚度6mm- 底部加热器:最高550°C,步长1°C- 温度均匀性:±1.5%- 涡轮分子泵- 用于阳极键合的高压电源(可能需要额外的工装)- 电子机架- 计算机和软件- LCD显示器- 粗抽泵- EVG 501 键合机操作手册- 可进行全面检查和演示- 我们所有翻新的EVG键合机均可在全球范围内提供安装、培训、服务和支持!