原始设备制造商名称：EVG

ID 号：4361

- 型号：EVG 620

- 手动掩模对准机

- 顶部对准 (TSA)

- 手动对准

- 可处理最大 6 英寸/150 毫米晶圆（需配备合适的卡盘）

- 物镜（2 个）

- 真空卡盘：订购时请注明

- 掩模夹具：订购时请注明

- 掩模装载架：订购时请注明

- 可在近距离、软接触、硬接触或真空接触曝光模式下运行

- 工具更换快速简便，可在几分钟内完成

- 灯箱：500W 灯箱

- 曝光光学系统：C 型，350nm - 450nm，宽带

- 基于 Microsoft Windows 的用户界面

- 系统电脑、键盘、电缆

- EVG 620 操作手册

- 2011 年制造

- 提供 6 个月保修！

- 更换全新椭圆反射镜

- 更换全新紫外灯

- 检查冷光反射镜，必要时进行更换

- 检查前转向反射镜，必要时进行更换

- 检查前透镜，必要时进行更换

- 测试灯电源，必要时进行维修或更换

- 测试曝光光学系统

- 检查显微镜组件，必要时进行调整

- 必要时对显微镜进行全面光学对准

- 对机器进行全面测试，以验证其符合原始规格

- 必要时重建 WEC 头部

- 检查气动调节器，必要时进行更换

- 必要时对机器外壳进行重新喷漆或更换

状况：

状况良好保证品质。

由 ClassOne 公司按照原厂规格全面翻新。

6 个月保修，并提供完整规格保证。

30 天退货权。