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EVG 620 光刻对准机(由 420 型升级而来)


原始设备制造商零件号:620 光刻对准机

原始设备制造商名称:EVG
ID 号:5033
产品详情:EVG 620 光刻对准机,包含:

- 型号:EVG620(由 420 型升级而来)
- 手动光刻对准机
- 正面对准 (TSA)
- 背面对准 (BSA)
- 自动对准
- 可处理最大 6 英寸/150 毫米晶圆(需配备合适的卡盘)
- 物镜(2 个)
- 真空卡盘:订购时请注明
- 光罩夹具:订购时请注明
- 光罩装载架:订购时请注明
- 可在接近式、软接触式、硬接触式或真空接触式曝光模式下运行
- 工具更换快速简便,可在几分钟内完成
- 灯箱:500W 灯箱
- 曝光光学系统:C 型,350nm - 450nm,宽带
- 基于 Microsoft Windows 的用户界面
- 系统电脑、键盘、线缆
- EVG 620 操作手册

状况:二手
状况:现状出售。

描述:
EVG 620 手动光刻对准系统
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