原始设备制造商零件号:620 光刻对准机
- 型号:EVG620(由 420 型升级而来)- 手动光刻对准机- 正面对准 (TSA)- 背面对准 (BSA)- 自动对准- 可处理最大 6 英寸/150 毫米晶圆(需配备合适的卡盘)- 物镜(2 个)- 真空卡盘:订购时请注明- 光罩夹具:订购时请注明- 光罩装载架:订购时请注明- 可在接近式、软接触式、硬接触式或真空接触式曝光模式下运行- 工具更换快速简便,可在几分钟内完成- 灯箱:500W 灯箱- 曝光光学系统:C 型,350nm - 450nm,宽带- 基于 Microsoft Windows 的用户界面- 系统电脑、键盘、线缆- EVG 620 操作手册