- 型号:EVG 520- 手动晶圆装载基板键合机- 能够进行熔融压缩键合- 能够进行热压缩键合- 能够进行阳极键合- 非常适合研发和试生产应用- 高真空键合腔- 键合工具盖自动开启- 基于 Windows 的控制软件和操作界面- 晶圆尺寸:最大可达 150 毫米- 真空吸盘:6 英寸/150 毫米直径吸盘- 最大键合力:7 kN- 顶部加热器:最高 550°C,步长 1°C- 底部加热器:最高 550°C,步长 1°C- Thermoflex 1400 冷却器(或同等产品)- 温度均匀性:± 1.5%- 涡轮分子泵和控制器- 粗抽泵- 装载/卸载工具- 系统计算机、显示器和键盘- EVG 520 键合机操作手册- 可进行全面检查和演示- 全球范围内提供安装、培训、服务和支持!