EVG 101 喷涂系统

- 型号：EVG 101

- 半自动，手动装载

- 适用于 1 英寸至 6 英寸晶圆（需配备合适的卡盘和预对准器）

- 目前配置用于 3 英寸和 4 英寸晶圆

- 一个涂层模块

- 一个清洗模块

- 一个光刻胶处理模块的底架，包括所有电子元件、气动元件、溶剂管路和排气管路

- 手动装载和机械预对准器（气动驱动）

- PC 控制，基于 Windows 的图形用户界面

- 密码保护的访问级别

- 可编程基板旋转速度

- 包括用于喷嘴的注射器分配选项

- 适用于 1 英寸至 3 英寸和 4 英寸至 6 英寸晶圆的旋转卡盘

- 包括 4 个落地式安装支架

- 1 个用于晶圆搬运的真空吸笔

- 包括排气控制器

- 包括操作手册和文档