产品详情：

KARL SUSS MA200 光刻对准机，包含：

- MA200CC 主系统

- 自动光刻对准机

- 配置用于顶部对准

- 盒式晶圆传输操作

- 可处理最大 8 英寸/200 毫米晶圆

- 真空吸盘：8 英寸吸盘

- 光罩架：9 英寸 x 9 英寸光罩架

- 灯箱：1000 瓦

- 电源：Suss CIC 1000 电源

- UV400 光学系统（用于 365nm 和 405nm 曝光）

- 物镜：5 倍和 10 倍物镜

- Suss 自动对准系统

- Suss DVM8 显微镜

- 隔振台（包含在主机中）

- MA200 操作手册

- 制造年份：1999

- 序列号：206

状况：

保证状况良好