- 型号：MJB3 350W

- 制造商：Suss MicroTec / Karl Suss

- 配置用于顶部对准

- 包括一个卡盘（客户选择尺寸）

- 包括一个掩模架（客户选择尺寸）

- 系统最大可处理直径达3英寸的晶圆（需购买合适的卡盘）

- 显微镜照明器

- CIC500电源

- 350W灯箱

- UV400曝光光学系统（适用于365nm和405nm波长）

- 新型按钮控制和计时器

- 按键式键盘

- 常规视野显微镜

- 物镜：5倍、10倍和20倍

- 目镜：10倍

- 可实现真空、硬接触和软接触模式

- 曝光分辨率：0.7/0.8微米（最佳条件下）

- 对准分辨率：0.25微米（取决于操作员）

- 全新350W灯泡，1个

- 操作手册和文档

- 保证状态良好

- 按照工厂规格进行全面翻新

- 更换全新椭圆反射镜

- 更换全新紫外灯

- 检查冷光反射镜，必要时更换

- 检查前转向反射镜，必要时更换

- 检查前透镜，必要时更换

- 更换全新快门气缸

- 更换全新反射镜座气缸

- 测试灯电源，必要时维修或更换

- 测试曝光光学系统

- 更换全新显微镜照明灯泡

- 检查并调整显微镜组件

- 必要时对显微镜进行全面光学对准

- 对机器进行全面测试

- 重建WEC头部

- 检查气动调节器，必要时更换

- 对机器外壳进行重新喷漆或更换所需设备

-其所有二手和翻新 Suss 光刻对准机提供全球备件和维修服务

- 全球提供安装和培训服务