- 型号：MJB3 主系统

- 制造商：Suss MicroTec / Karl Suss

- 配置用于顶部对准

- 最大晶圆尺寸：3英寸直径

- CIC 500 电源

- 350瓦灯箱

- UV400 曝光光学系统（用于 365nm 和 405nm 曝光）

- Suss M230 分光显微镜

- 目镜：10倍

- 物镜：3.5倍和10倍

- 曝光模式：真空接触、硬接触和软接触

- 显微镜光源

- 曝光分辨率：0.8微米（最佳条件下）

- 对准分辨率：0.25微米（取决于操作员）

- 包含1个掩模架（用于4"x4"掩模）

- 包含1个晶圆卡盘（请指定尺寸，多种尺寸有库存）

- 包含1个全新350W灯泡

- Suss MJB3 光刻对准机操作手册

- 由前Suss工厂培训的技术人员翻新，符合Suss MJB3原始规格！

- 更换全新椭圆反射镜

- 更换全新紫外灯泡

- 检查冷光反射镜，必要时更换

- 检查前转向反射镜，必要时更换

- 检查前透镜，必要时更换

- 更换全新快门气缸

- 更换全新反射镜罩气缸

- 测试灯电源，必要时维修或更换

- 测试曝光光学系统

- 更换全新显微镜照明灯泡

- 检查并调整显微镜组件

- 必要时对显微镜进行全面光学对准

- 对机器进行全面测试，以验证其符合原始规格- WEC头部翻新

- 气动调节器检查并根据需要更换

- 机器外罩重新喷漆或根据需要更换

- 隔振台气囊检查并根据需要更换

- 气动调节器检查并根据需要更换

- 气管检查并根据需要更换

- 轮子检查并根据需要更换

- 调平脚检查并根据需要更换

- 传输滑轨翻新

- 预对准器组件翻新

- 晶圆对准台翻新

- 晶圆盒升降机翻新

- 为所有二手和翻新的Suss掩模对准机提供全球备件和服务支持

- 全球提供安装和培训服务

- 了解更多：掩模对准机和键合机

状况：

保证状况良好。

按照工厂规格进行全面翻新。

6个月保修和完整规格保证。

30天退货权。