- 型号：MA-150e

- 顶部对准 (TSA)

- 自动光刻对准机

- 盒式到盒式操作

- 可在自动或手动模式下使用

- AL3000 自动对准系统

- Cognex 8100 图案识别软件，用于掩模与基板图案的自动对准。

- 能够对准几乎任何形状或设计的图案，对准精度小于 1.0µm

- 预对准器类型：XRS

- 已安装自动对准选项

- 操作系统：Windows 2000

- 灯箱：1000 瓦灯箱

- 曝光光学系统：UV400 光学系统（365nm/405nm 曝光）

- 电源：CIC1200

- 显微镜：DVM6 显微镜

- 单物镜：根据客户要求配置（5倍、10倍或20倍）

- 真空吸盘：根据客户要求配置

- 掩模夹具：根据客户要求配置

- 能够进行硬接触、软接触、接近式和真空接触曝光模式（需配备相应的工具）

- 包含全新 Ushio 1000W 灯泡

- Suss MA150 操作手册

- 系统电源：208/230V

- 翻新至极佳状态

状况：

保证状态极佳。

完全按照工厂规格进行翻新。

6个月保修和规格保证

30天退货权。