- 型号：MA150CC

- 自动正面和背面对准

- Suss AL3000 自动对准系统

- 盒式晶圆传输操作

- 可在自动或手动模式下使用

- 预对准器

- 可处理最大6英寸/150毫米晶圆

- 1000瓦灯箱

- UV400 光学系统（用于365nm和405nm曝光）

- Suss CIC1000 灯电源

- Suss DVM6 显微镜

- Olympus 5倍、10倍、20倍物镜，各2个

- 晶圆卡盘

- 光罩夹具

- 可进行硬接触、软接触和真空接触曝光模式

- 平板触摸屏

- 系统显示器

- 系统计算机

- 包含全新灯泡

- Suss MA150CC 操作和服务手册

- 翻新至极佳状态

- 系统电源：230V，50/60Hz

状况：

全面翻新至极佳状态。

6个月保修。

30天退货权。

可在我们公司进行全面检查和演示。