- 型号：MJB3主机

- 制造商：Suss MicroTec / Karl Suss 配置用于顶部对准

- 最大晶圆尺寸：3英寸直径

- CIC 500电源

- 350瓦灯箱

- UV400曝光光学系统（用于365nm和405nm曝光）

- Suss M400显微镜

- 目镜：10倍

- 物镜：3.2倍、10倍和20倍

- 曝光模式：真空接触、硬/软曝光

- 显微镜光源

- 曝光分辨率：0.8微米（最佳条件下） - 对准分辨率：0.25μm（取决于操作人员）

- 包含 1 个掩模支架（适用于 4"x4" 掩模）

- 包含 1 个晶圆卡盘（请注明尺寸，库存充足）

- 包含 1 个全新 350W 灯泡

- 生产年份：2024 年由 Suss Reman 翻新

- 翻新后符合 Suss MJB3 原厂规格！

- Suss MJB3 掩模对准器操作手册

CLASSONE 的掩模对准器翻新流程包括：

1) 主机：

- 更换全新椭球面镜

- 更换全新紫外灯泡

- 检查并根据需要更换冷光镜

- 检查并根据需要更换前旋转镜

- 检查并根据需要更换前透镜

- 快门气缸已更换为新气缸

- 镜室气缸已更换为新气缸

- 灯电源已测试，并根据需要进行维修或更换

- 曝光光学系统已测试

- 显微镜照明灯泡已更换为新灯泡

- 显微镜组件已检查并根据需要进行调整

- 显微镜已根据需要进行全面光学校准

- 机器已进行全面测试，以验证其是否符合原始规格

- WEC 头已重建

- 气动调节器已检查并根据需要进行更换

- 机器外壳已重新喷漆或根据需要进行更换

SUSS掩模对准器全球安装及支持：