OEM零件号：MA8/BA8 光刻对准机

OEM名称：Suss MicroTec

- 制造商：Suss MicroTec

- 型号：MA8/BA8

- PC、显示器、键盘、鼠标

- 1000W 灯箱

- CIC1200 电源

- 隔振台

- 适用于 8 英寸/200 毫米晶圆的卡盘和掩模架

- 正面和背面对准

- 更换全新椭圆反射镜

- 更换全新紫外灯泡

- 检查冷光反射镜，必要时更换

- 检查前置转向反射镜，必要时更换

- 检查前置透镜，必要时更换

- 更换全新快门气缸

- 更换全新反射镜室气缸

- 测试灯电源，必要时维修或更换

- 测试曝光光学系统

- 更换全新显微镜照明灯泡

- 检查并调整显微镜组件

- 必要时进行显微镜的全面光学对准

- 对机器进行全面测试，以验证其符合原始规格

- 重建 WEC 头部

- 检查气动调节器，必要时更换

- 必要时重新喷涂或更换机器外壳

- 检查隔振台气囊，必要时更换

- 检查气动调节器，必要时更换

- 检查气管，必要时更换

- 检查轮子，必要时更换

- 检查调平脚，必要时更换

- 重建传输滑轨

- 重建预对准器组件

- 重建晶圆对准台

- 重建卡盒升降机

按照工厂规格进行全面翻新。

6 个月保修和完整规格保证。

30 天退货权。也提供现状/按原样定价。