ID号：5148

SUSS MA6 光刻对准机，包含：

- 型号：MA6/BA6

- 制造商：Suss MicroTec / Karl Suss

- 晶圆尺寸：可对直径达 6 英寸/150 毫米的晶圆进行曝光，具体取决于工装夹具

- 配置用于顶部对准 (TSA) 和底部对准 (BSA)

- Suss 分光显微镜

- UV400 光学系统（用于 365nm 和 405nm 曝光）

- 包括 5 倍、10 倍、20 倍物镜

- CIC 电源

- 1000W 灯箱

- 可进行软接触、硬接触、近距离接触和真空接触（具体取决于工装夹具）

- 包括 (1 个) 晶圆卡盘

- 包括 (1 个) 光罩夹具

- 隔振台（适用于 Suss MA6）

- 系统电源：230V，50/60 Hz

- Suss MA6 光刻对准机操作手册

- 由 Suss 工厂培训的技术人员全面翻新

状况：翻新

保证状况良好。

已完全翻新至工厂规格。

6 个月保修和规格保证

30 天退货权。