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Takano WM-10 ≤300mm 晶圆颗粒检测系统
Takano——老化Surfscan®设备的最佳替代方案
这是一款用于测量≤300mm未图案化晶圆上颗粒的先进技术解决方案，也是业界首选的Surfscan®传统系统的全新替代产品。Takano WM-10 可对裸晶圆或镀膜晶圆进行高灵敏度颗粒测量。
该设备可提供可靠的48nm检测灵敏度，同时具备高吞吐量和卓越的重复性。它是满足当前和未来需求的先进且经济高效的颗粒测量解决方案。
数百台此类设备已在亚洲的日常使用中得到验证。
主要特点和优势
先进的性能和卓越的性价比
48nm 颗粒检测灵敏度
双激光角度（可选）
70 片/小时的吞吐量
Windows 10 操作系统
长寿命 405nm 激光二极管
单或双 FOUP 或开放式晶圆盒处理系统
多种选件：地图叠加、雾度测量、XY 坐标输出等等
全面的 OEM 零件和长期服务支持
日本制造，品质保证
一年 OEM 保修
测量规格
最大检测灵敏度：0.048µm
动态范围：0.048 – 5µm
检测重复性：≤1%
吞吐量：300mm 晶圆，70 片/小时
软件/硬件选件
双入射角激光
地图叠加功能
X-Y 坐标输出
自动灵敏度校正
雾度测量
GEM300 通信
远程桌面
配备 ULPA 过滤器的风扇过滤单元 (FFU)
信号灯塔
裸片和镀膜 PSL 校准晶圆
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