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Takano WM-7SR ≤200mm 晶圆颗粒检测系统
Takano——业界首选的新一代技术替代方案，取代老化的 Surfscan® 设备
这是用于测量直径 ≤200mm 未图案化晶圆上颗粒的先进技术解决方案——正因如此，它已成为业界首选的传统 Surfscan® 系统的替代产品。Takano WM-7SR 可对裸晶圆或镀膜晶圆进行高灵敏度颗粒测量。
WM-7SR 可提供一流的 61nm 检测灵敏度，同时兼具高吞吐量和卓越的重复性。它是目前以及未来最先进、最具成本效益的颗粒测量解决方案。
数百台此类设备已在亚洲各地投入日常使用并获得验证。现在，它们已在北美和欧洲上市——由 ClassOne Equipment 独家供应。
主要特点和优势
卓越的性能和极高的性价比
79nm 颗粒检测灵敏度（标准配置）
61nm 颗粒检测灵敏度（可选配置）
60 片/小时的吞吐量
检测重复性：<1%
Windows 10 操作系统
405nm 低入射角激光二极管
适用于 50-200mm 晶圆的单片开放式卡盒处理系统
配备 HEPA 过滤器的风机过滤单元 (FFU)
信号指示灯
简化的数据输出
丰富的 OEM 零件和本地服务支持，长期可用
日本制造，品质卓越
一年 OEM 保修
专业的安装和培训
本地备件和工厂培训的维修服务支持
软件/硬件选项
61nm 高灵敏度模式
地图叠加（比较）功能
X-Y 坐标输出
自动灵敏度校正
雾度测量
SECS II 通信
自动保存所有数据
区域计数
远程桌面
薄膜专用 PSL 校准
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