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Oxford Plasmalab 100 RIE 系统
原始设备制造商名称：Oxford
ID 号：4222
产品详情：
OXFORD PLASMALAB 100 RIE 系统，包括：
- 型号：Plasmalab 100 Plus- 可处理最大 8 英寸/200 毫米晶圆- 适用于研发和小批量生产- 带载入锁定系统- 计算机、键盘、全新平板显示器- 系统冷却器- 涡轮分子泵- 载入锁定泵- 操作手册和相关文档- 提供全面翻新并符合原始规格的产品
气体模块目前配置以下气体（最多可配置 6 种气体）：
- Ar
- O2
- Cl2
- SiCl4
翻新：状况：
按照工厂规格全面翻新。
6 个月保修和规格保证。
30 天退货权。
描述：
Oxford Plasmalab 100 RIE 系统
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