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Oxford Plasmalab 100 PECVD
OEM 部件号：Plasmalab 100 PECVD
OEM 名称： Oxford
ID 号： 4600
产品详情： OXFORD PLASMALAB 100 PECVD，包含：
- 型号：Plasmalab 100 PECVD- 工艺：SiO2 和 SiN 沉积- 最大晶圆尺寸：8 英寸/200 毫米- 单片晶圆处理，最大可达 8 英寸晶圆- 负载锁定腔室- 600W 射频发生器- 基板电极：205 毫米- 优化用于 PECVD 的淋浴头式气体入口- 400°C 基板台- 系统计算机- 系统冷却器- Alcatel 2033 真空泵（负载锁定泵）- Alcatel 2033 真空泵和 RSV301B 鼓风机（腔室泵）- Oxford PC2000 软件- Windows XP 操作系统- Plasmalab 100 PECVD 操作手册- 2008 年制造！- 序列号：94-814892- CE 认证- 气体柜配置，包含以下 7 种气体：
状况：翻新
状况：
保证状态极佳。
按照工厂规格进行全面翻新。
6 个月保修和完整规格保证。
30 天退货权。
描述：
Oxford Plasmalab 100 PECVD。
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