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Oxford Plasmalab 100 ICP-RIE 180
OEM 部件号：Plasmalab 100 ICP
OEM 名称： Oxford
ID 号： 4948
产品详情：OXFORD PLASMALAB 100 ICP 刻蚀机，包含：
- 制造商：Oxford Instruments- 型号：Plasmalab System 100 ICP-RIE 180- 使用工艺气体：H2、O2、N2、Ar、CF4、SF6、CHF3、He、CH4、HBr、Cl2 和 BCl3- 低温工作台，工作温度：-150 至 400°C- 基板冷却：使用液氮 (LN2)- 射频电源：300 W，13.56 MHz- ICP 电源：3000 W，13.56 MHz- 本底压力：5E-7 Torr- Horiba 激光终点检测器- 负载锁定
真空泵：
主腔室后级泵：
- 制造商：Adixen- 类型：干式泵（多级罗茨泵）- 型号：ADP 122 P
主腔室涡轮分子泵：
- 制造商：Adixen- 类型：涡轮分子泵- 型号：ATH 1300
负载锁定：
- 制造商：Adixen- 类型：干式泵（多级罗茨泵）- 型号：ACP 15G
翻新至符合 OEM 规格，包含：
- 腔室拆解进行翻新。- 腔室进行全面湿法清洗。- 腔室 O 形圈和密封件全部更换为全新件。- 静电卡盘 (ESC) 送修（如果适用）。- 所有质量流量控制器 (MFC) 均经过专业维修和校准。- 所有腐蚀性气体管路均更换为全新件。- 所有非腐蚀性气体管路均已清洗。- 真空泵经过专业维修。- 涡轮分子泵经过专业维修。- 冷却器已进行维护和全面测试。- 所有接线/线束均已检查，必要时进行维修或更换。- 所有液体和空气管路、管道和接头均已检查，必要时进行更换。- 主要部件已拆解进行检查、维护、清洁和润滑。必要时对部件进行维修或更换。 - 对所有电子和机械部件进行检查。- 清洁、抛光或根据需要更换机器外壳。- 对设备进行全面测试，以验证其符合规格。- 翻新后进行系统泄漏和射频校准检查，并向客户提供相关文件。- 在更换外壳和擦拭清洁之前，完成系统循环和重复性测试。- 系统组件经过精心包装、贴标，并采用专业木箱包装。
状况：翻新
状况：保证状况极佳。
由 ClassOne 公司按照工厂规格进行全面翻新。6 个月保修和完整规格保证。30 天退货权。描述：Oxford Plasmlab 100 ICP-RIE 180 刻蚀机。
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