Oxford PlasmaPro NGP1000 PECVD

- 型号：Oxford PlasmaPro NGP1000 PECVD

- 负载锁定腔室

- 系统电脑、键盘、鼠标

- Windows 7 操作系统，配备 PC4500 控制软件

- X20 PLC

- 490 毫米直径铝制下电极

- 可处理最大 450 毫米晶圆

- 目前配备用于（7 片）150 毫米或更小晶圆的载片盘。其他载片盘可根据要求提供

- 最高温度可达 400 摄氏度

- 腔室加热套件（加热腔室侧壁以最大程度减少工艺沉积）

- 双频射频，带脉冲功能，用于薄膜应力控制

- 600W 13.56MHz 高频射频发生器

- 600W 100kHz 低频射频发生器

- 气动辅助腔室升降机构

- 用于工艺腔室的 Adixen ADS602P 干式泵

- 负载锁定真空泵

- 操作手册和文档

- 已全面翻新至极佳状态（详情见下文）

- 制造年份：2012

- He

- CF4

- N2

- N2O

- NH3

- SiH4-N2

- 腔室拆解进行翻新。

- 腔室进行全面湿法清洗。

- 腔室 O 形圈和密封件全部更换为全新件。

- 静电卡盘 (ESC) 送修翻新（如果适用）

- 所有质量流量控制器 (MFC) 均经过专业维修和校准。

- 所有腐蚀性气体管路均更换为全新件。

- 所有非腐蚀性气体管路均已吹扫。

- 真空泵经过专业维修。

- 涡轮泵经过专业维修。

- 冷水机组已维护并全面测试。

- 所有接线/线束均已检查，必要时进行维修或更换。 - 所有液体和气体管路、管道和接头均已检查，必要时进行更换。

- 主要部件已拆卸，进行检查、维修、清洁和润滑。必要时对零件进行维修或更换。

- 所有电子和机械部件均已检查。

- 根据需要对机器外壳进行清洁、抛光或更换。

- 翻新后进行系统泄漏和射频校准检查，并向客户提供相关文件。

- 在更换外壳和擦拭清洁之前，已完成系统循环和重复性测试。

- 系统组件已仔细包装、贴标并进行专业装箱。

状况： 保证状况极佳。

公司按照工厂规格进行全面翻新。

6 个月保修和完整规格保证。

30 天退货权。