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Oxford PlasmaPro NGP1000 ICP 380
OEM 部件号：Oxford PlasmaPro NGP1000 ICP 380
OEM 名称：Oxford
ID 号：4521
产品详情：OXFORD PLASMAPRO NGP1000 ICP 380 刻蚀机，包含：
- 型号：Oxford PlasmaPro NGP1000 ICP380 刻蚀机- 负载锁定腔室- 490mm 直径铝制下电极- 可处理最大 450mm 晶圆- 系统 PC、键盘、鼠标- Windows 7 操作系统，配备 PC4000 控制软件- X20 PLC- 加热或流体冷却 RIE 刻蚀下电极，配备 3,000W、13.56MHz 射频发生器- 208V ICP380 源，配备 5kW、2MHz 射频发生器和静电屏蔽罩- 双磁性间隔器，可在 RIE 功率极低或为零的情况下提高 ICP 均匀性- 机械晶圆夹具- 光学终点检测器- 气动腔室升降套件- 腔室加热套件- Adixen ATH1600MT 涡轮分子泵- Adixen ADP122P 干式泵- Adixen ACP40G 干式泵- Julabo FC1600 冷却器- 操作手册和文档- 已全面翻新至极佳状态（详情见下文）- 生产年份：2013 年
X20 外部气体箱，最多可连接 12 条气路。目前配置如下：
- BCL3- N2- CL2- HBr- SF6- CF4- Ar- O2
Oxford翻新流程包括：
- 腔室拆解进行翻新。- 腔室进行全面湿法清洗。- 腔室 O 形圈和密封件全部更换为全新件。- 静电卡盘 (ESC) 送修翻新（如果适用）。- 所有 MFC 均由专业人员进行重建和校准。- 所有腐蚀性气体管路均更换为全新件。- 所有非腐蚀性气体管路均进行吹扫。- 真空泵由专业人员进行重建。- 涡轮分子泵由专业人员进行重建。 - 冷水机组已维修并经过全面测试。- 所有线路/线束均已检查，必要时进行维修或更换。- 所有液体和空气管路、管道和接头均已检查，必要时进行更换。- 主要部件已拆卸进行检查、维修、清洁和润滑。必要时对零件进行维修或更换。- 所有电子和机械部件均已检查。- 设备外壳已清洁、抛光或根据需要进行更换。- 翻新后进行系统泄漏和射频校准检查，并向客户提供相关文件。- 在更换外壳和擦拭清洁之前，已完成系统循环和重复性测试。- 系统组件已仔细包装、贴标并进行专业装箱。
状况：翻新
状况：
保证状况极佳。
按照工厂规格进行全面翻新。
6 个月保修和完整规格保证。
30 天退货权。
描述：
Oxford PlasmaPro NGP1000 ICP 380
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